半導體芯片生產用EDI超純水設備
- 來源:
- 君浩環保集團
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- 發布日期:
- 2023-06-01
中星顯示材料成立于2017年6月,由中國與新加坡自然人合作投資的中外合資企業,注冊資本1億元,主要從事液晶顯示材料、OLED電致發光材料,產品最終應用于TFT-LCD、PDLC、OLED等新型顯示和創新原料生產領域。在芯片制造中工件與水會有直接接觸,芯片在加工過程中的微量玷污需要洗凈,所以超純水的品質需要有保障,不然一旦清洗用水中含有雜質,就會產生水垢,影響芯片的成品率,所以需要高純度的超純水方可清洗干凈。
項目名稱:半導體芯片生產用EDI超純水設備
項目地點:寧東
項目性質:超純水系統工程
工程周期:20天
工程狀態:已完結
3.需求分析
制造芯片的原材料是提供多次才得到的高純度硅,將其切割成6寸、12寸、18寸等不同的晶圓,需要上百道步驟才可成為芯片,在此其中無論多少次的切割都需要用符合芯片制造清洗用水要求。
一般來說我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ·cm、15MΩ·cm、10MΩ·cm、2MΩ·cm、0.5MΩ·cm五級標準)。
4.解決方案
根據原水水質情況,通過現場勘查,工藝流程如下:
5.設備價值
隨著近幾年政府對芯片產業發展的逐漸重視,以及受內部和外部因素的影響,國內芯片產業呈井噴式增長,由于芯片生產工藝中對水質要求極高,EDI超純水設備系統更是高之又高。
6.結果呈現